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通过石英玻璃透视窗测量半导体氧化温度解决方案

作者：admina来源：时间：2022-11-18 17:50:43浏览量：778人阅读

　　

通过石英玻璃透视窗测量半导体氧化温度解决方案


要解决的问题
测温设备集成于设备内部，对准目标有些许困难

需透视窗测温，需考虑测温仪响应波段

场景特点
需要维持在高温状态（氧化炉≥1050℃，扩散炉≥850℃）

反应速率较快，对测温仪响应时间有要求

匹配产品我司提供产品作为解决方案：IGA 6-TV、IGAR 6-TV

核心优势IGA 6-TV
为近红外测温波段，对于石英视窗有更高的透射率；对于金属被测物有更高的测温精度

宽测温量程（250-2500℃）

极快响应速度（120μs）

更好的重复性（0.15%+1℃）

可变焦镜头，可调节测距（可从210至2000mm内测温）

设定内可调多种参数，满足多种环境需求

具有直观的视频模式，且接线简单

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