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半导体真空炉气氛炉比色高温计

半导体真空炉气氛炉比色高温计 关键词:线材退火炉红外线测温仪 冷壁卧式真空炉双色高温计 晶圆高温处理炉高温计 单晶硅制造晶圆生长炉测温仪 晶圆高温炉红外线测温仪 光伏、水泥、玻璃比色测温仪 真空感应熔铸炉红外线测温仪 顶部装载真空炉双色高温计 热风炉拱顶红外双色测温装置 轧线棒材钢坯双色测温仪 旋转粉末烧结炉红外测温仪 热壁前装载真空炉红外线测温仪 红外比色高温计

半导体真空炉气氛炉红外双色测温仪

半导体真空炉气氛炉比色高温计

产品特点

1.测温范围覆盖250℃~3000℃(分段)

2. 测温精度可达0.5%,重复精度为2℃,部分产品分辨率达0.1℃

3.响应时间10ms~99.99s可调

4.采用可调焦镜头,测量距离0.35m至无穷远

5.对探测器采用PID恒温控制,消除环境温度对测量的影响

6.清晰显示被测目标的位置及大小1:1高亮度绿色LED光源或可视目镜

7. 兼具双色和单色测温功能

8.抗干扰双色模式下,镜头脏检测功能

9.采用工业级OLED屏为显示界面,人机界面友好

10.外设接口:2路独立的模拟量输出、2路报警输出、1路电平输出以及1路RS485通讯接口。

11.软硬件等抗干扰设计提高系统稳定性,可抗2500VDC脉冲群干扰

12.有抗氧化测量功能,测量时不受氧化物的影响

技术参数

测温范围(℃)

250~3000(分段)

主要应用

热轧、线 棒材、金属锻造、铸造、真空炉、感应加热 、溶化的玻璃、水泥窑、半导体

距离系数

100:1

测量距离

0.35m至无穷远可调

测量精度

±0.5%T

分辨率

0.1℃

重复精度

±2℃

单色系数

0.100~1.000,步距0.001可调。

双色系数

0.850~1.150,步距0.001可调。

响应时间

5ms~99.99s可调

信号处理

峰值、谷值、平均值,环境温度过高过低报警,单色、双色可切换,掉电保护等功能

输出

多种模拟量输出16bit (4mA~20mA,0mA~20mA,0V~5V,0V~10V可选), 分辨率0.1℃,电流环输出负载600Ω,电压输出允许电流10mA

模拟量12bit输出4mA~20mA,分辨率1℃,电流环输出负载600Ω

报警输出:上限、下限报警,采用光耦继电器使用寿命制,

导通电阻≤25Ω,允许电压AC60V或DC60V,允许电流120mA,响应时间2ms

PNP电平输出(输出电流100mA,带过载保护)

RS485输出,可实现参数修改,数据记录和查询等功能

显示方式

采用工业级OLED显示屏

供电电源

DC(20~30)V,带过压、过流、短路保护,功耗:5W(24V@200mA) 内置EMI滤波器,可抗2500VDC脉冲群的干扰。

预热时间

内置恒温加热器,通电10min后测温

瞄准方式

内置可见高亮度绿灯或目镜瞄准

接口

采用德国binder密封插头和12芯屏蔽电缆(长度2.5m)

使用环境

不带水冷:-30℃~+55℃,吹扫压力为0.1MPa,流量为6L/ min 带水冷:-30℃~+120℃, 冷却水压力为0.2MPa,流量为2L/min

防护等级

IP65

接线表

绿

粉红

浅蓝

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

11

12

+24V

0V

多种方式 模拟量

(4~20) mA

输出信 号地线

COMH

NOH

COML

NOL

A

电源输入

模拟量输出

对0V

上限报警输出

下限报警输出

RS485通讯接口

多种方式模拟量输出为:(420mA、(020mA、(05V、(010V 可选。


关键词:线材退火炉红外线测温仪 冷壁卧式真空炉双色高温计 晶圆高温处理炉高温计 单晶硅制造晶圆生长炉测温仪 晶圆高温炉红外线测温仪 光伏、水泥、玻璃比色测温仪 真空感应熔铸炉红外线测温仪 顶部装载真空炉双色高温计 热风炉拱顶红外双色测温装置 轧线棒材钢坯双色测温仪 旋转粉末烧结炉红外测温仪 热壁前装载真空炉红外线测温仪 红外比色高温计
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